Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition of Al$_{2}$O$_{3}$ on Graphene Using Monolayer hBN as Interfacial Layer

Canto, Bárbara; Otto, Martin; Powell, Michael J.; Babenko, Vitaliy; O'Mahony, Aileen; Knoops, Harm C. M.; Sundaram, Ravi S.; Hofmann, Stephan; Lemme, Max C.; Neumaier, Daniel (Corresponding author)

Weinheim : Wiley (2021)
Fachzeitschriftenartikel

In: Advanced materials technologies
Band: 6
Heft: 11
Seite(n)/Artikel-Nr.: 2100489

Einrichtungen

  • AMICA - Advanced Microelectronic Center Aachen [052600]
  • Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente [618710]

Identifikationsnummern

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