Integration of graphene in CMOS compatible device environments

Wittmann, Sebastian; Lemme, Max C.

Berlin : VDE Verlag (2019)
Contribution to a book, Contribution to a conference proceedings

In: MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik, MEMS-MOEMS, Systemintegration - Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz : proceedings, 28.-30. Oktober 2019 in Berlin / Organisatoren: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM), VDI/VDE Innovation + Technik GmbH (VDI/VDE-IT) ; Chairman: Prof. Dr. Klaus-Dieter Lang, TU Berlin, Fraunhofer IZM
Page(s)/Article-Nr.: 592-594

Institutions

• Chair of Electronic Devices [618710]