Assessment of wafer-level transfer techniques of graphene with respect to semiconductor industry requirements
Wittmann, Sebastian; Pindl, Stephan; Sawallich, Simon; Nagel, Michael; Michalski, Alexander; Pandey, Himadri; Esteki, Ardeshir; Kataria, Satender; Lemme, Max C. (Corresponding author)
Weinheim : Wiley (2023)
Fachzeitschriftenartikel
In: Advanced Materials Technologies
Band: 8
Heft: 8
Seite(n)/Artikel-Nr.: 2201587
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente [618710]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1002/admt.202201587
- DOI: 10.18154/RWTH-2023-01062
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2023-01062