Investigation of Heater Structures for Thermal Conductivity Measurements of SiO$_{2}$ and Al$_{2}$O$_{3}$ Thin Films Using the 3-Omega Method

Kühnel, Fabian; Metzke, Christoph; Weber, Jonas; Schätz, Josef; Duesberg, Georg S.; Benstetter, Günther (Corresponding author)

Basel : MDPI (2022)
Fachzeitschriftenartikel

In: Nanomaterials : open access journal
Band: 12
Heft: 11
Seite(n)/Artikel-Nr.: 1928

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente [618710]