Fabrication of wire-MOSFETs on silicon-on-insulator substrate

Heuser, M.; Baus, M.; Hadam, B.; Winkler, O.; Spangenberg, B.; Granzner, R.; Lemme, Max C.; Kurz, Heinrich

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2002)
Fachzeitschriftenartikel

In: Microelectronic engineering
Band: 61/62
Seite(n)/Artikel-Nr.: 613-618

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Halbleitertechnik und Institut für Halbleitertechnik [616210]
  • Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente [618710]

Identifikationsnummern