Tungsten work function engineering for dual metal gate nano-CMOS

Efavi, J. K.; Mollenhauer, T.; Wahlbrink, T.; Gottlob, Heinrich Dieter Bernd; Lemme, Max C.; Kurz, Heinrich

Norwell, Mass : Springer (2005)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of materials science / Materials in electronics
Band: 16
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 433-436

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Halbleitertechnik und Institut für Halbleitertechnik [616210]
  • Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente [618710]

Identifikationsnummern